超精密静圧エアスピンドルのラジアル方向回転精度の評価法
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概要
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In this paper, the authors newly developed the vector indication method to understand radial run-out of ultrahigh precision air spindle. The run-out of rotating spindle was measured by two sensors located perpendicularly to each other on horizontal plane. The new algorithm was presented to get the instantaneous vector of displacement of spindle center for digital processing. It was made clear that the vector indication method was able to confirm the behavior of spindle motion more clearly than Lissajou's figure. Furthermore, the authors removed the form errors of master ball used as the measuring target and the difference between two sensor gains.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1992-06-05
著者
-
坂本 淳
東京理科大学大学院
-
塚田 忠夫
東京工業大学情報理工学研究所
-
野口 昭治
日本精工(株)
-
坂本 淳
東京工業大学工学部大学院
-
塚田 忠夫
東京工業大学大学院情報理工学研究科
-
塚田 忠夫
東京工業大学
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