高メンテナンス性を有する半導体製造用高性能ガスパネルシステム
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概要
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Scientific Semiconductor Manufacturingの実現には、ゆらぎのない半導体製造プロセスの構築が不可欠であり、超高純度ガス供給システムが求められる。このニーズに応えてInspection-free Installationを現実のものとした小型継手を開発した。またその応用として単体機器の交換等のメンテナンス性の改善とコンパクト化に有効な半導体製造用高性能ガスパネルの構築方法を紹介する。
- 1995-08-17
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