導電性AFM探針を用いた有機ナノSITの作製
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概要
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有機静電誘導トランジスタ(SIT)において、ゲート電極作製の際にLATEX球を蒸着マスクとして用い、ソース電極に導電性AFM探針を用いる事により、ナノスケールで動作する素子の作製を行った。LATEX球の付着条件を最適化し、ナノスケールの空隙を多数有するゲート電極の作製方法を確立した。作製した試料のSIT特性を測定したところ、I_<D-S> がV_G により変調されるなどナノスケールでのSIT動作が確認された。また、導電性探針を空隙からずらしてゆくと、I_<D-S> の絶対値だけでなくV_G 依存性も小さくなってゆくことが確認された。その理由について、静電界シミュレーション結果をもとに考察を行った。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-05-08
著者
-
田中 國昭
千葉大
-
工藤 一浩
千葉大学 工学部 電子機械工学科
-
飯塚 正明
千葉大学工学部
-
中村 雅一
千葉大学大学院工学研究科
-
飯塚 正明
千葉大学大学院工学研究科
-
飯塚 正明
千葉大学 千葉大学工学部 電子機械工学科
-
田中 國昭
千葉大学 工学部 電子機械工学科
-
中村 雅一
千葉大学 工学部 電子機械工学科
-
村石 典生
千葉大学 工学部 電子機械工学科
-
中村 雅一
千葉大学 大学院工学研究科
-
工藤 一浩
千葉大学 大学院工学研究科
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