半導体探針を用いたSTSによる有機超薄膜の局所物性評価
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概要
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走査型プローブ顕微鏡 (SPM) は表面形状観察のみでなく、局所領域での電気物性量の測定を行うことができるという特徴をもつ。走査型トンネル顕微鏡 (STM) に付随した走査型トンネル分光法 (STS) では通常、金属探針が使用され、試料の局所状態密度に対応したトンネルスペクトルが得られる。半導体探針を使用したSTS測定を行った結果、探針の電子状態を強く反映したトンネルスペクトルが得られた。また、有機分子層として銅フタロシアニン (CuPc) 蒸着膜を導入したSTS測定ではCuPcの電子状態に関する情報を得ることができた。さらに、原子間力顕微鏡 (AFM) を利用した局所物性評価として、金属をコートした導電性AFMカンチレバーを使用した凹凸像とそれに対応した電位分布像の同時測定を行った結果について述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-09-26
著者
-
工藤 一浩
千葉大学工学部
-
飯塚 正明
千葉大学工学部電子機械工学科
-
国吉 繁一
千葉大学工学部電子機械工学科
-
田中 國昭
千葉大学工学部電子機械工学科
-
田中 國昭
千葉大学工学部
-
国吉 繁一
千葉大学大学院工学研究科
-
飯塚 正明
千葉大学工学部
-
青木 耕一
千葉大学工学部電気電子工学科
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