有機横型、縦型電界効果素子の動作特性
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概要
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銅フタロシアニン蒸着薄膜(CuPc)を用いて横型、縦型FET構造素子を作製し、基礎的な静・動特性を調べた。横型、縦型FET素子ともに良好なFET特性を示し、CuPc薄膜はp型有機半導体的性質を示すことが分かった。縦型FETは静電誘導型トランジスタ(SIT)として動作し、同じ蒸着条件で作製したCuPc縦型・横型FETの動特性を比較した結果、縦型FETの周波数特性が改善されていることが明らかとなった。これらの結果は、ソース、ドレイン、ゲート長が短い構造を有するSIT素子の特長が反映しているものと考えられる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-07-03
著者
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