ナノインプリント法を用いた段差型有機トランジスタの作製(光機能性有機材料・デバイス,光非線形現象,一般)
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概要
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有機トランジスタを低駆動電圧、大電流で動作させるためには短チャネル化が有効である。そこで我々は、段差構造を利用することで容易にサブミクロン長の短チャネルを実現することができる段差型有機トランジスタ(SVC-OFET)を作製し、その素子特性を調べた。特に本研究では、段差を形成する手段としてナノインプリント法を用いた。ナノインプリント法は微細加工を比較的簡単に行うことができるため、SVC-OFETを簡便に作製することができる。SVC-OFETの有機半導体層には、蒸着法で成膜したペンタセンと塗布法により成膜したTIPS-ペンタセンの二種類を用いており、各素子ともにFET動作を確認することができた。
- 2011-11-11
著者
-
飯塚 正明
千葉大学教育学部
-
酒井 正俊
千葉大学工学部
-
飯塚 正明
千葉大学工学部
-
工藤 一浩
千葉大
-
工藤 一浩
千葉大学大学院工学研究科
-
山内 博
千葉大学大学院工学研究科
-
酒井 正俊
千葉大学大学院工学研究科
-
飯塚 正明
千葉大学大学院工学研究科
-
工藤 一浩
千葉大院工
-
吹山 雅浩
千葉大学大学院工学研究科
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