非晶質Asマスクを用いたInの部分拡散によるGaInAs/GaAs構造の選択形成

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概要

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• 2006-05-11

著者

• 竹田 美和

  名古屋大学工学研究科結晶材料工学専攻

• 竹田 美和

  名古屋大学

• 田渕 雅夫

  名古屋大学工学部材料機能工学科

• 田渕 雅夫

  名大vbl:jst Trip

• 田淵 雅夫

  名大工

• 山田 巧

  名古屋大学大学院工学研究科

• 則竹 陽介

  名古屋大学大学院工学研究科

• 山田 巧

  光エレクトロニクス研究所

• 田渕 雅夫

  名古屋大学

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