非晶質Asマスクを用いた3次元ヘテロ構造形成プロセスに関する研究

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概要

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• 電子情報通信学会の論文
• 2005-05-19

著者

• 竹田 美和

  名古屋大学工学研究科結晶材料工学専攻

• 竹田 美和

  名古屋大学

• 田渕 雅夫

  名古屋大学工学部材料機能工学科

• 田渕 雅夫

  名大vbl:jst Trip

• 田淵 雅夫

  名大工

• 山田 巧

  名古屋大学大学院工学研究科

• 則竹 陽介

  名古屋大学大学院工学研究科

• 山田 巧

  光エレクトロニクス研究所

• 田渕 雅夫

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