ICPを用いた反応性イオンエッチングによるInP2次元フォトニック結晶の作製
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概要
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誘導結合プラズマ(ICP)を用いた反応性イオンエッチングにより、InP 2次元フォトニック結晶を作製し、フーリエ変換赤外分光測定法の1種である高感度反射測定法(FTIR-RAS)により、光領域における反射率特性を調べた。試料の作製に先だって、フォトニックバンドギャップを理論計算により求めた。作製にあたり、SiO_2をマスク材としたりソグラフィーによりInP基板上にパターンを作製し、SiCl_4/Arをエッチングガスとして、6回対称の円形空洞を作製した。その際、N_2Oを微量に添加することで、InPのエッチングレートが僅かに上昇し、かつ垂直性が向上することが明らかになった。また、InPのエッチングレートとSiO_2に対する選択比はSiCl_4流量に強く依存することが分かった。試料の評価はFTIR-RAS法で行い、光領域において、開口径に依存した特徴的なスペクトルが観測された。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-10-08
著者
-
竹田 美和
名古屋大学工学研究科結晶材料工学専攻
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藤原 康文
名大工
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藤原 康文
名古屋大学工学部材料教能工学科
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竹田 美和
名古屋大学
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中野 博彦
(株)サムコインターナショナル研究所
-
立田 利明
(株)サムコインターナショナル研究所
-
橋本 政幸
名古屋大学工学部材料機能工学科
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辻 理
サムコインターナショナル研
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羽立 等
名古屋大学工学部材料機能工学科
-
中野 博彦
サムコインターナショナル研究所
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立田 利明
サムコインターナショナル研究所
-
羽立 等
名大理工総研
-
中野 博彦
サムコインターナショナル研 開発部
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立田 利明
サムコインターナショナル研
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