TBPを用いたOMVPE法によるEr添加InPの成長と評価
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概要
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有機V族原料であるTBPを用いたOMVPE法によりEr添加InPを成長し、Er添加条件が試料の諸特性に及ぼす影響について系統的に調べた。成長層中のEr濃度に着目してSIMS測定を行ったところ、その濃度は成長方向に対してほぼ一定であり、Er供給条件により精密制御可能であった。試料の表面モフォロジーはEr濃度に強く依存した。PL測定において、すべての試料から1.54μm近傍にEr^<3+>の4f殻内遷移に起因する発光が観測された。それらPLスペクトルのEr濃度依存性を解析することにより、成長層内に少なくとも2種類のEr発光中心が含まれることが明らかになった。PL強度は成長温度の低下とともに増大し、550℃以下で飽和した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-05-18
著者
-
竹田 美和
名古屋大学工学研究科結晶材料工学専攻
-
藤原 康文
名大工
-
野々垣 陽一
名古屋大学工学部材料機能工学科
-
伊藤 祐介
名古屋大学工学部材料教能工学科
-
松原 直輝
名古屋大学工学部材料教能工学科
-
藤原 康文
名古屋大学工学部材料教能工学科
-
竹田 美和
名古屋大学
-
伊藤 祐介
名古屋大学工学部材料機能工学科
-
藤田 敬次
名古屋大学工学部材料機能工学科
-
野々垣 陽一
岡崎国立共同研究機構分子科学研究所
-
松原 直輝
名古屋大学工学部材料機能工学科
-
藤田 敬次
名古屋大学大学院工学研究科材料機能工学専攻
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