23pWA-8 SiH_4及びSi_2H_6分子SiGe表面吸着過程
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2000-09-10
著者
-
鎌倉 望
東北大学電気通信研究所
-
木村 康男
東北大学電気通信研究所
-
庭野 道夫
東北大学電気通信研究所
-
篠原 正典
長崎大学
-
篠原 正典
長崎大学大学院生産科学研究科
-
篠原 正典
東北大学電気通信研究所
-
瀬山 顕雄
東北大学電気通信研究所
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