酸素プラズマ中でのSi表面水素の拳動
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 2004-09-10
著者
-
木村 康男
東北大学電気通信研究所
-
庭野 道夫
東北大学電気通信研究所
-
松田 良信
長崎大学工学部
-
篠原 正典
長崎大学
-
藤山 寛
長崎大学工学部電気電子工学科
-
篠原 正典
長崎大学大学院生産科学研究科
-
藤山 寛
長崎大学大学院生産科学研究科
-
篠原 正典
東北大学電気通信研究所
-
篠原 正典
長崎大学工学部電気電子工学科
-
片桐 輝昭
長崎大学工学部電気電子工学科
-
岩辻 圭太郎
長崎大学工学部電気電子工学科
-
庭野 道夫
東北大学電気通信研究所ナノスピン実験施設
-
木村 康男
東北大学電気通信研究所ナノスピン実験施設
-
松田 良信
長崎大学工学部電気電子工学科
-
藤山 寛
長崎大学工学部
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