純水中Si表面の反応プロセス : 酸化と水素置換
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概要
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純水中のSi(100)表面の化学状態を多重内部反射型赤外分光法で"その場"観察した. H_2O中と重水(D_2O)中のSi(100)表面のSi-H伸縮振動スペクトルを測定した結果、純水中の水素終端Si表面上で表面Si-H種の水素原子と水分子の水素原子が置換することが分かった。また、純水中に水素終端Si表面を長時間放置すると酸化する。この時、表面Si原子のバックボンド酸化によって形成される中間酸化種の形成のされ方が、大気中酸化の場合と異なることが分かった。水素置換反応と酸化反応およびエッチング反応との関係について議論する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-08-25
著者
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