有機PVDFフィルムを用いた圧電式水素ガスセンサの開発(有機デバイス・酸化物デバイス・一般)
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概要
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我々は,有機圧電ポリマーであるポリフッ化ビニリデン(PVDF)薄膜にパラジウム(Pd)薄膜を堆積させた新規な自立型圧電式水素ガスセンサを開発した.本センサは,水素吸収に伴うPd薄膜の体積膨脹でPVDF薄膜が歪むことにより,PVDF薄膜の分極の変化を電圧信号として取り出すことを検出原理としている.さらに我々は,PVDF粉末,アセトン,水溶性極性溶媒であるヘキサメチルリン酸トリアミド(HMPA)を混合した溶液を乾燥させる溶液塗布法により,自発分極と多孔質構造を持つβ型PVDF薄膜を簡便に作製する手法を確立した.この多孔質β型PVDF薄膜を用いることで,室温で安定した水素ガス検知特性が得られることが明らかとなった.
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2013-04-11
著者
-
木村 康男
東北大学電気通信研究所
-
庭野 道夫
東北大学電気通信研究所
-
飯野 祥平
東北大学電気通信研究所ナノ・スピン実験施設
-
但木 大介
東北大学電気通信研究所ナノ・スピン実験施設
-
中山 貴裕
東北大学電気通信研究所
-
今井 裕司
仙台高等専門学校
-
但木 大介
東北大学電気通信研究所
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