18aTF-6 SiH_2Cl_2分子の吸着・熱分解過程における表面水素の挙動
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2001-09-03
著者
-
鎌倉 望
東北大学電気通信研究所
-
木村 康男
東北大学電気通信研究所
-
庭野 道夫
東北大学電気通信研究所
-
篠原 正典
長崎大学
-
篠原 正典
長崎大学大学院生産科学研究科
-
篠原 正典
東北大学電気通信研究所
-
庭野 道夫
東北大学電気通信研究所ナノスピン実験施設
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