マイクロホローカソード光源を用いた真空紫外吸収分光法の開発
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概要
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Vacuum ultraviolet absorption spectroscopy system using a micro hollow cathode lamp has been built for the measurement of number densities of light element atoms such as atomic hydrogen, carbon, nitrogen and oxygen. Preliminary absorption measurement has been done in oxygen/argon inductively coupled plasma. A rough estimation showed the oxygen number densities of 10^<12>～10^<13>cm^<-3> for the ICP plasma produced at the following condition : RF power of 200W, total gas pressure of 50mTorr, , and O_2 partial pressure of 1.25mTorr.
- 長崎大学の論文
著者
-
松田 良信
長崎大学工学部
-
篠原 正典
長崎大学
-
藤山 寛
長崎大学工学部電気電子工学科
-
篠原 正典
長崎大学大学院生産科学研究科
-
藤山 寛
長崎大学大学院生産科学研究科
-
篠原 正典
東北大学電気通信研究所
-
井手 義行
長崎大学大学院生産科学研究科
-
篠原 正典
長崎大学工学部電気電子工学科
-
松田 良信
長崎大学工学部電気電子工学科
-
藤山 寛
長崎大学工学部
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