EID2000-3 プラズマとスパッタ粒子空間分布の可視化 : プレーナマグネトロン放電からPDP放電まで
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概要
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PDPの構成要素であるITO透明導電性薄膜の反応性スパッタ作成プロセスにおける発光分光とレーザー誘起蛍光法によるプラズマとスパッタ原子空間分布計測、および面放電型AC-PDPテストパネルで行なってきたマイクロ放電の時空間分解構造診断計測の概要を報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-06-15
著者
-
松田 良信
長崎大学工学部
-
藤山 寛
長崎大学工学部電気電子工学科
-
藤山 寛
長崎大学大学院生産科学研究科
-
松田 良信
長崎大学工学部電気電子工学科
-
藤山 寛
長崎大学工学部
-
大友 晃治
長崎大学 工学部 電気電子工学科
-
太田 秀憲
長崎大学 工学部 電気電子工学科
-
大友 晃治
長崎大学工学部電気電子工学科
-
太田 秀憲
長崎大学工学部電気電子工学科
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