29a-L-4 イオンビームスパッター原子の速度分布関数測定によるスパッタリング過程の研究
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1986-09-12
著者
-
山村 泰道
岡山理大
-
村岡 克紀
九大総理工
-
松田 良信
長崎大学工学部
-
前田 三男
九大工
-
赤崎 正則
九大総理工
-
松田 良信
九大総理工
-
Akazaki Masanori
Department Of Energy Conversion Engineering Graduate School Of Engineering Science Kyushu University
-
林田 智徳
九大総理工
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