高温 Cu-Ni 系の選択スパッタリングと表面組成変化のダイナミカル・シミュレーション
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概要
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The hybrid Monte Carlo simulation code ACAT-DIFFUSE have been applied to the investigation of the preferential sputtering and the depth profile near the surface at high temperature where the 3keV Ne ions are bonbarded on a Cu_<0.40>Ni_<0.60> alloy. At 100℃ the stationary Cu surface concentration is nearly equal to its bulk concentration and at high temperature (400℃) the Cu surface concentration is larger than the bulk concentration due to surface Gibbsian segregation. There simulated results are in good agreement with the Lam's results of experiment.
- 岡山理科大学の論文
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