A New Formula for Energy Spectrum of Sputtered Atoms Due to Low-Energy Light lons

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概要

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• A new formula has been derived to describe the energy spectrum of sputtered atoms from a target material bombarded by light ions. We assume that sputtered atoms bombarded by low-energy light ions are mainly primary knock-on atoms which are created by large-angle backscattered light ions. The escape processes of recoil atoms are estimated on the basis of the Falcone-Sigmund model. The new formula has the dependence on the incident energy of a projectile. We have compared the new formula with simulation results calculated with ACAT code for a Fe target material bombarded by 50eV, 100eV and 500eV D^+ ions. Good agreements are found for 50eV and 100eV D^+ ions.

• 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
• 2004-05-25

著者

• 山村 泰道

  岡山理大

• 剣持 貴弘

  Doshisha University

• 剣持 貴弘

  同志社大学生命医

• 小野 忠良

  岡山理科大学総合情報学部

• 中川 幸子

  岡理大・理

• 山村 泰道

  Okayama University Of Science

• 剣持 貴弘

  Kibi International University

• 小野 忠良

  Okayama University of Science

• 川村 孝一

  Chubu University

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