スパッタリングシミュレーション(<特集>電気推進・先端推進の数値シミュレーション)

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概要

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• 2011-10-05

著者

• 百武 徹

  Okayama University

• 剣持 貴弘

  Doshisha University

• 村本 哲也

  Okayama University of Science

• 剣持 貴弘

  同志社大学生命医

• 村本 哲也

  岡山理科大学

• 百武 徹

  横浜国立大学

• 剣持 貴弘

  同志社大学

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