5a-H-4 非等方スパッタリング域における放出角度分布のレーザー蛍光測定による研究
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1984-09-10
著者
-
内野 喜一郎
九大総理工
-
村岡 克紀
九大総理工
-
松田 良信
長崎大学工学部
-
前田 三男
九大工
-
赤崎 正則
九大総理工
-
Uchino Kiichiro
Department Of Energy Conversion Kyushu University
-
松田 良信
九大総理工
-
上田 泰稔
九大総理工
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