プラズマ成膜プロセスにおけるサブサーフェスでの反応過程解析

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概要

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我々は,プラズマプロセスにおいて,反応が起こっている最前線である「固体とプラズマとの相互作用が起こって過渡的な表面層」を「プラズマ誘起サブサーフェス」と定義している.この領域の反応における物理的相互作用・化学反応を解明することで,膜形成・エッチングのメカニズムが解明でき,原子レベルで制御された揺るぎないプラズマプロセスを確立できるはずである.本稿ではまず,この「プラズマ誘起サブサーフェス」の定義を述べる.次に,この観点から,我々が近年取り組んでいるアモルファス炭素膜の成長機構の解明についての研究およびその展望について解説する.成膜過程を多重内部反射赤外分光法で「実時間」・「その場」観察した上で,炭化水素成分の状態の変遷から成膜過程を考察している.
社団法人プラズマ・核融合学会の論文
2007-12-25

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