アセチレンプラズマを用いたアモルファス炭素膜の成膜過程の赤外分光解析
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概要
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- 2010-08-10
著者
-
松田 良信
長崎大学工学部
-
篠原 正典
長崎大学
-
篠原 正典
長崎大学大学院生産科学研究科
-
川副 大樹
長崎大学大学院生産科学研究科
-
稲吉 孝紀
長崎大学大学院生産科学研究科
-
河上 貴聡
長崎大学大学院生産科学研究科
-
原 幸治郎
長崎大学大学院生産科学研究科
-
藤山 寛
長崎大学大学院生産科学研究科
-
新田 祐樹
トーヨーエイテック株式会社
-
中谷 達行
トーヨーエイテック株式会社
-
篠原 正典
東北大学電気通信研究所
-
松田 良信
長崎大学工学部電気電子工学科
-
藤山 寛
長崎大学大学院 生産科学研究科
-
中谷 達行
トーヨーエイテック(株)表面処理事業部
-
中谷 達行
トーヨーエイテック
-
篠原 正典
長崎大学大学院工学研究科
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