Influence of Heavy Particle Collision on Optical Emission in Cathode Fall of DC Argon/Silane Glow Discharge (<Special Issue> Plasma Processing)
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概要
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Spatially resolved optical emission profiles were investigated in dc silane-argon discharge plasmas under the high E/N condition, where E is electric field strength and N is gas density. The optical line emission intensities of Ar, H, and SiH in both the cathode fall and negative glow regions were well explained by a simple collisional excitation model, in which heavy particle collisions in the cathode fall and electron collisions in the negative glow are taken into account, respectively. As a result, it was confirmed that radical production by heavy particle collision is indispensable in such chemical vapor deposition (CVD) plasmas for operation under the high E/N condition.
- 社団法人応用物理学会の論文
- 1994-07-30
著者
-
藤山 寛
長崎大学大学院生産科学研究科
-
松田 良信
長崎大学工学部電気電子工学科
-
Matsuda Yuko
Central R & D Laboratory Japan Energy Corporation
-
Matsuda Y
Central R & D Laboratory Japan Energy Corporation
-
FUJIYAMA Hiroshi
Department of Energy Conversion, Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University
-
MATSUDA Yoshinobu
Department of Electrical and Electronic Engineering, Nagasaki University
-
KAWASAKI Hiroharu
Department of Electronic Device Engineering, Graduate School of Information Science and Electrical E
-
Kawasaki Hiroharu
Department Of Electrical Engineering Sasebo National College Of Technology
-
ANO Kazumi
Department of Electrical Engineering and Computer Science, Nagasaki University
-
Fujiyama Hiroshi
Department Of Electrical And Electronic Engineering Nagasaki University
-
Ano Kazumi
Department Of Electrical Engineering And Computer Science Nagasaki University
-
Matsuda Yoshinobu
Department Of Electrical And Electronic Engineering Nagasaki University
-
Kawasaki Hiroharu
Department of Electrical and Electronic Engineering, Sasebo National College of Technology, Sasebo, Nagasaki 857-1193, Japan
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