藤山 寛 | 長崎大学大学院 生産科学研究科
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概要
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藤山 寛
長崎大学大学院 生産科学研究科
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小島 裕爾
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著作論文
- アセチレンプラズマを用いたアモルファス炭素膜の成膜過程の赤外分光解析
- アモルファス炭素膜のプラズマ気相化学堆積過程の観察
- 多重外部反射赤外分光法の開発
- 細管内壁コーティングのためのヘリコン波プラズマ源の開発
- 放電プラズマの生成・制御とその機能性薄膜作成プロセスへの応用
- プラズマ源II(有磁場)
- プラズムを用いた細管内壁への薄膜コーティング