篠原 正典 | 長崎大学工学部電気電子工学科
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概要
関連著者
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篠原 正典
長崎大学
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篠原 正典
長崎大学大学院生産科学研究科
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長崎大学工学部電気電子工学科
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庭野 道夫
東北大学電気通信研究所ナノスピン実験施設
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木村 康男
東北大学電気通信研究所ナノスピン実験施設
著作論文
- マイクロホローカソード光源を用いた真空紫外吸収分光法の開発
- 多重外部反射赤外分光法の開発
- 細管内壁コーティングのためのヘリコン波プラズマ源の開発
- 酸素プラズマ中でのSi表面水素の拳動
- 走査プラズマ法を用いた高分子フィルム上へのZnO薄膜の低温形成
- MgO薄膜高速成膜のための誘導結合プラズマ支援反応性スパッタリング法の開発
- 基板表面磁界がスパッタ薄膜結晶配向性に及ぼす影響