小山 悠 | 長崎大学工学部大学院生産科学研究科

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• 松田 良信

  長崎大学工学部

• 藤山 寛

  長崎大学工学部電気電子工学科

• 藤山 寛

  長崎大学大学院生産科学研究科

• 小山 悠

  長崎大学工学部大学院生産科学研究科

• 松田 良信

  長崎大学工学部電気電子工学科

• 藤山 寛

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• 田代 佳

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  長崎大学大学院生産科学研究科

• 篠原 正典

  東北大学電気通信研究所

• 篠原 正典

  長崎大学工学部電気電子工学科

• 岩谷 勝

  長崎大学工学部電気電子工学科

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著作論文

• MgO薄膜高速成膜のための誘導結合プラズマ支援反応性スパッタリング法の開発
• MgO高速成膜用誘導放電支援反応性スパッタリング法の開発(発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)
• MgO高速成膜用誘導放電支援反応性スパッタリング法の開発
• MgO高速成膜用誘導放電支援反応性スパッタリング法の開発

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