MgO高速成膜用誘導放電支援反応性スパッタリング法の開発
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概要
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- 2002-01-25
著者
-
松田 良信
長崎大学工学部
-
藤山 寛
長崎大学工学部電気電子工学科
-
藤山 寛
長崎大学大学院生産科学研究科
-
小山 悠
長崎大学工学部大学院生産科学研究科
-
松田 良信
長崎大学工学部電気電子工学科
-
藤山 寛
長崎大学工学部
-
田代 佳
長崎大学工学部電気電子工学科
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