アモルファス炭素膜のプラズマ気相化学堆積過程の観察
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 2010-03-10
著者
-
松田 良信
長崎大学工学部
-
篠原 正典
長崎大学
-
篠原 正典
長崎大学大学院生産科学研究科
-
藤山 寛
長崎大学大学院生産科学研究科
-
中谷 達行
トーヨーエイテック株式会社
-
篠原 正典
東北大学電気通信研究所
-
松田 良信
長崎大学工学部電気電子工学科
-
藤山 寛
長崎大学大学院 生産科学研究科
-
中谷 達行
トーヨーエイテック(株)表面処理事業部
-
中谷 達行
トーヨーエイテック
-
篠原 正典
長崎大学大学院工学研究科
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