ハーモニック電子サイクロトロン共鳴マイクロプラズマ源の開発
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概要
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Generation of low-pressure micro-plasmas was investigated theoretically and experimentally by using the electron cyclotron resonance plasma generated in the narrow gap of a coaxial tube. By using xenon and by applying the magnetic flux densities satisfying from the harmonic ECR to ECR conditions, we have succeeded in generating micro-plasmas in the 500 μm gap of a coaxial tube at the pressure of 10^<-2> Torr.
- 長崎大学の論文
著者
-
松田 良信
長崎大学工学部
-
松下 正典
長崎大学工学部大学院生産科学研究科
-
藤山 寛
長崎大学工学部電気電子工学科
-
藤山 寛
長崎大学大学院生産科学研究科
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松田 良信
長崎大学工学部電気電子工学科
-
藤山 寛
長崎大学工学部
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