走査プラズマ法を用いた高分子フィルム上へのZnO薄膜の低温形成
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概要
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ZnO thin films were prepared on polyethylene terephthalate (PET) substrates using the scanning plasma method. We investigate the dependence of the scanning frequency and magnetic flux density on the substrate temperatures. We found the substrate was kept at low temperatures by modulating magnetic field and magnetic field frequency.
- 長崎大学の論文
著者
-
篠原 正典
長崎大学
-
藤山 寛
長崎大学工学部電気電子工学科
-
篠原 正典
長崎大学大学院生産科学研究科
-
藤山 寛
長崎大学大学院生産科学研究科
-
篠原 正典
東北大学電気通信研究所
-
篠原 正典
長崎大学工学部電気電子工学科
-
馬場 健次
長崎大学工学部大学院生産科学研究科
-
山本 恭一
凸版印刷株式会社総合研究所
-
宇山 春夫
凸版印刷株式会社総合研究所
-
藤山 寛
長崎大学工学部
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