7.マイクロプラズマによる細管内面コーティング(<小特集>マイクロプラズマ : 基礎から応用まで)
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概要
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High rate plasma sputter-coating methods have been developed for ceramic coating on the inside surfaces of metallic tubes and for metallic coating on the inside surfaces of dielectric tubes. Coaxial Electron Cyclotron Resonance Plasma (CECRP) is useful for electrically insulated coating and Coaxial Magnetron Pulse Plasma (CMPP) for conductive coating. For adhesive sputter coating, it is required to generate micro plasmas in narrow spaces at low pressures of less than 10^<-3> Torr. Inside coating of tubes with 2 m in length or 6 mmφ in inner diameter was a great success with use of both methods.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2000-05-25
著者
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