18aTF-7 Si陽極化成中における表面水素化物のFT-IRによるその場観察

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2001-09-03

著者

• 木村 康男

  東北大学電気通信研究所

• 庭野 道夫

  東北大学電気通信研究所

• 根本 淳

  東北大学電気通信研究所

• 庭野 道夫

  東北大学電気通信研究所ナノスピン実験施設

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