新しい物理モデルに基づいたシリコン熱酸化のシミュレーション

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概要

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• 日本表面科学会の論文
• 2002-02-10

著者

• 影島 博之

  NTT物性基礎研

• 植松 真司

  NTT物性科学基礎研究所

• 白石 賢二

  筑波大学物理学系

• 白石 賢二

  筑波大物理

• 植松 真司

  慶応義塾大学大学院理工学研究科

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