23aYD-14 シリコン酸化物中の余剰原子および欠陥の拡散挙動 : 第一原理分子動力学計算からのアプローチ
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2003-08-15
著者
-
常行 真司
東大院理
-
影島 博之
NTT物性基礎研
-
赤木 和人
東北大WPI
-
植松 真司
NTT物性科学基礎研究所
-
赤木 和人
東大院理
-
赤木 和人
東北大
-
植松 真司
慶応義塾大学大学院理工学研究科
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