28pPSB-43 SiO_2/Si(100) 界面での酸素原子反応過程の理論的検討

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2003-03-06

著者

• 影島 博之

  NTT物性基礎研

• 秋山 亨

  三重大学大学院工学研究科

• 秋山 亨

  NTT物性基礎研

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