SiCの熱分解によるグラフェン成長とLEEM評価技術 (特集 ナノカーボンデバイス材料の可能性に迫る)

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概要

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著者

• 影島 博之

  NTT物性基礎研

• 日比野 浩樹

  NTT基礎研

• 日比野 浩樹

  Ntt物性科学基礎研究所

• 田邉 真一

  Ntt物性基礎研

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