シリコン表面の原子ステップ配列制御 -ナノ構造の集積化へ向けて-
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概要
著者
-
本間 芳和
東京理科大学
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日比野 浩樹
NTT基礎研
-
本間 芳和
NTT基礎技術総合研究所
-
荻野 俊郎
横国大
-
荻野 俊郎
横浜国立大学大学院工学研究院
-
本間 芳和
日本電信電話(株)ntt物性科学基礎研究所
-
本間 芳和
東理大
-
日比野 浩樹
Ntt物性科学基礎研究所
-
日比野 浩樹
Ntt 物性科学基礎研究所
-
本間 芳和
Ntt基礎総研
-
荻野 俊郎
NTT基礎研究所
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