24pPSA-56 si酸化膜界面におけるSi原子の振る舞い
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2000-09-10
著者
-
影島 博之
NTT物性基礎研
-
白石 賢二
NTT物性科学基礎研究所
-
植松 真司
NTT物性科学基礎研究所
-
白石 賢二
筑波大学物理学系
-
白石 賢二
筑波大物理
-
植松 真司
慶応義塾大学大学院理工学研究科
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