27aY-13 Si(100)表面酸化に伴う表面からのSi原子放出量の理論検討

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概要

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• 1999-09-03

著者

• 影島 博之

  NTT物性基礎研

• 白石 賢二

  NTT物性科学基礎研究所

• 白石 賢二

  筑波大学物理学系

• 白石 賢二

  筑波大物理

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