解説 シリコン熱酸化の新しい描像

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概要

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著者

• 影島 博之

  NTT物性基礎研

• 白石 賢二

  筑波大学物理学系

• 白石 賢二

  筑波大物理

• 植松 真司

  慶応義塾大学大学院理工学研究科

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