マグネトロンスパッタ法により作製したZnS膜の構造と組成
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概要
著者
-
下野 功
北海道立工業技術センター
-
福田 永
室蘭工業大学工学部
-
野村 滋
室蘭工業大学工学部電子電子工学科
-
野村 滋
室蘭工業大学
-
菅原 智明
北海道立工業技術センター
-
西野 元一
北海道職業能力開発大学校
-
吉野 正樹
北海道職業能力開発大学校
-
下野 功
道立工業技術センター
-
福田 永
室蘭工業大学
-
西野 元一
北海道職業能力開発大
-
福田 永
室蘭工業大・創成機能工学
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