マグネトロンスパッタ法により作製したZnO膜の構造と組成
スポンサーリンク
概要
著者
-
下野 功
北海道立工業技術センター
-
福田 永
室蘭工業大学工学部
-
野村 滋
室蘭工業大学工学部電子電子工学科
-
本間 工士
北海道電力
-
野村 滋
室蘭工業大学
-
菅原 智明
北海道立工業技術センター
-
辻野 二朗
北海道電力(株)総合研究所
-
西野 元一
北海道職業能力開発大学校
-
吉野 正樹
北海道職業能力開発大学校
-
辻野 二朗
北海道電力(株)
-
辻野 二朗
北海道電力
-
本間 工士
北海道電力(株)
-
下野 功
道立工業技術センター
-
福田 永
室蘭工業大学
-
西野 元一
北海道職業能力開発大
-
福田 永
室蘭工業大・創成機能工学
関連論文
- 二酸化炭素雰囲気中で焼成したホタテガイ貝殻の蛍光特性
- 白金一酸化タングステンゲートMOSFET型COガスセンサの応答特性
- 31a-PS-24 SrV_2S_5の試料作成と電気的・磁気的性質 II
- 2E15-1 単分散イカ墨色素粒子の分離精製濃縮プロセスの開発(生物化学工学・分離精製工学,一般講演)
- 雰囲気制御熱プラズマCVD法によるアルコキシド溶液からの新規セラミックスコーティングと耐摩耗性
- 7-18.石炭灰をリサイクルした煉瓦の開発((4)廃棄物有効利用1,Session 7 環境対策・リサイクル)
- RFスパッタ法で作製した不均一AIドープZnO薄膜の結晶状態と電気特性との関係
- 416 寒冷地向け CO_2 ヒートポンプ給湯機(冷媒配管方式)
- Bi_Pb_xSr_2Ca_2Cu_3O_酸化物超伝導体の合成に及ぼす仮焼温度の影響
- 1073Kでか焼した場合のBi系2223相の生成過程
- 短時間焼成によるBi系2223相の合成
- Bi(Sr_Ca_)O_zを出発物質に用いたBi系酸化物超伝導体の作製に関する研究
- クエン酸塩法により合成した前駆体からの Bi 系酸化物超伝導体の生成過程に関する研究
- クエン酸塩法によるBi系酸化物超伝導体の合成に関する研究
- ペンタセン薄膜形成と有機トランジスタへの応用
- ポリ3ヘキシルチオフェン薄膜形成と有機トランジスタへの応用
- ポリ3ヘキシルチオフェン薄膜形成と有機薄膜トランジスタへの応用(圧電デバイス・材料,強誘電体材料,有機エレクトロニクス,一般)
- CPM2000-74 有機金属分解法を用いた酸化イットリウム薄膜形成と電気的特性評価
- CPM2000-73 白金-酸化タングステンゲートMOSFET型ガスセンサの試作
- ヘテロ原子含有置換ポリアセチレンの有機トランジスタへの応用
- ポリ3ヘキシルチオフェン薄膜形成と有機薄膜トランジスタへの応用(圧電デバイス・材料,強誘電体材料,有機エレクトロニクス,一般)
- ポリ3ヘキシルチオフェン薄膜形成と有機薄膜トランジスタへの応用(圧電デバイス・材料,強誘電体材料,有機エレクトロニクス,一般)
- Application of Ta_2O_5 based composites as a gate dielectric
- マグネトロンスパッタ法により作製したZnO膜の構造と組成
- 有機金属分解によるチタン酸鉛薄膜の構造と電気的特性
- 有機金属分解法による酸化タンタル薄膜の構造と電気的特性
- スパッタ法により作製したインジウム添加硫化亜鉛膜の構造と電気的特性
- シリコン酸化膜中のゲルマニウム微結晶における光学および電気的特性
- 有機金属分解による酸化イットリウム薄膜の構造と電気的特性
- 有機金属分解による酸化チタン薄膜の構造と電気的特性
- CPM2000-89 有機金属分解法を用いたチタン酸鉛薄膜形成と電気的特性評価
- CPM2000-88 有機金属分解法を用いたジルコン酸鉛薄膜形成と電気的特性
- CPM2000-86 シリコン酸化膜中のゲルマニウム微結晶成長とその評価
- CPM2000-75 有機金属分解によって形成した(1-x)Ta_2O_TiO_2薄膜の電気的特性と構造
- マグネトロンスパッタ法により作製したZnS膜の構造と組成
- 高感度MOSFET型ガスセンサの吸着特性
- 高感度集積化MOSFETガスセンサーの吸着特性
- PZT(PbZrTiO_3)/STO(SrTiO_3)薄膜成長と不揮発性メモリへの応用
- ポーラスシリコン膜の酸化と発光デバイスへの応用
- スピネル型結晶構造MgCr_2O_4の抵抗率の酸素分圧依存性
- スピネル型結晶構造MgCr_2O_4の電気伝導
- 不定比性酸化物MgCr_O_4の電気伝導
- Anodic Oxidation of Narrow Region of Silicon Substrate
- Surface Photovoltage Monitoring of Heavy Metal Contamination on Silicon During Chemical Cleaning in IC Manufacturing
- ホタテガイ貝殻を用いた蛍光体の発光中心に関する研究
- 高密度プラズマ発生装置の開発と次世代薄膜形成への応用に関する研究 (平成20年度共同研究プロジェクト成果)
- 中性原子発生装置の開発とナノスケール半導体薄膜形成への応用に関する研究
- 表面波励起プラズマによる中性水素原子生成とレジストアッシングへの応用 (2003年度実施の地域との共同研究の報告)
- ホタテガイ貝殻焼成物の蛍光特性
- シリコン酸化膜中のゲルマニウムナノ結晶の光学的および電気的特性(電子部品・材料, 及び一般)
- 有機金属分解法により形成した酸化タンタル薄膜の構造と電気的特性(電子部品・材料, 及び一般)
- K_2NiF_4型(La_Sr_x)_2MnO_4の合成とその電気的特性
- イカ墨ユーメラニン色素の特性とその活用(水産学と地域連携:道南における新海洋産業網の形成にむけて,シンポジウム記録)
- エゾバフンウニ斑点病原因菌Flexibacter sp. F-2株の低温環境における生残性
- 2-6電子化合物ZnOへのCu添加の影響
- Al添加ZnOスパッタ膜の構造と導電性に及ぼす基板温度の影響
- 2B15 ZnO セラミックスの電気的特性に及ぼすドーピングの影響(第一報)
- エレクトロルミネッセントランプの黒色化とその原因
- 高温超電導体の磁気浮上・吸引効果の観察
- 高温超電導体薄膜を用いた無重力実験とその評価
- 微小重力環境下において電界が液体窒素ならびにその気泡運動に及ぼす效果
- 微小重力環境下における液体窒素中気泡の電界による運動
- 微小重力下でのバルク高温超電導体の安定平衡特性
- 微小重力下でのバルク高温超電導体の安定平衡特性の評価
- 微小重力下における電極間液体窒素の運動
- 酸窒化極薄シリコン酸化膜の成長機構
- 有機金属分解法により形成した酸化チタン薄膜の構造と電気的特性(電子部品・材料, 及び一般)
- 急速熱窒化技術による極薄シリコン窒化膜成長とその電気的特性評価
- 次世代表面弾性波デバイス製造に向けた微細加工技術に関する研究 (平成21年度 プレ共同研究成果)
- XPS法による陽極酸化SiO_2/Si界面領域の組成解析
- 急速熱酸化膜の成長機構についての検討
- 表面波プラズマ装置の開発と半導体プロセスへの応用
- 表面波プラズマ発生装置の開発と半導体プロセスへの応用に関する研究(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 表面波プラズマ発生装置の開発と半導体プロセスへの応用に関する研究(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 表面波プラズマ発生装置の開発と半導体プロセスへの応用に関する研究(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 表面波プラズマ発生装置の開発と半導体プロセスへの応用に関する研究(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 表面波プラズマ発生装置の開発と半導体プロセスへの応用に関する研究
- 表面波プラズマ発生装置の開発と半導体プロセスへの応用に関する研究
- 中性原子発生装置の開発とナノスケール半導体薄膜形成への応用に関する研究
- シリコンウェハの直接貼り合わせ接合
- 急速熱酸化技術による極薄N_2O酸窒化膜の形成
- 急速熱酸化技術による極薄NO酸窒化膜の形成
- 気相輸送による黄鉄鉱単結晶の成長と電気的特性について
- 黄鉄鉱単結晶の気相輸送による成長 : 気相成長
- 低温プロセスによるシリコン酸化膜の形成とそのデバイスへの応用
- シリコン陽極酸化膜の界面構造と電気的性質
- アルギン酸塩法によるPb(Zr_Ti_x)O_3ファイバの作製
- 酸化膜中のGeナノ結晶成長とその電気的特性評価
- Synthesis of High Dielectric Constant Titanium Oxide Thin Films by Metalorganic Decomposition
- 固相反応法によるBi系酸化物超伝導体の合成に関する研究
- 真空メカノフュージョンによるAl2O3/Cu複合粉の作製
- 雰囲気制御メカノフュージョンによるCu/Al2O3複合粉の作製
- ヒトデ類焼成物の食中毒菌発育阻止効果とキャラクタリゼーション
- ホタテガイの貝殻およびニジマス耳石中の微量元素組成を用いた養殖地識別の試み
- ギガビットULSIに向けた極薄シリコン酸窒化膜
- ギガビットULSIに向けた極薄シリコン酸窒化膜
- 通電加熱によるイカ加工品の品質と安全性の向上
- 使用済脱硫剤を利用した野生動物忌避剤の開発研究(日本家畜管理学会・応用動物行動学会2013年度春季合同研究発表会)
- C-36 国土数値情報を用いた地下熱利用システムの導入可能性に関する研究 : (第2報)札幌近郊・札幌以南を対象としたデータベース構築
- H-4 国土数値情報を用いた地下熱利用システムの導入可能性に関する研究