CPM2000-73 白金-酸化タングステンゲートMOSFET型ガスセンサの試作
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概要
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本研究では、ゲート電極に多孔質白金Ptと酸化タングステンWO_3の積層構造を用いたMOSFET型COガスセンサを試作した。試作したMOSFETの特性の変化を測定し評価した。CO濃度の増加に伴い飽和電流としきい値電圧が増加することから、ゲート電極にPtとWO_3の積層構造を用いたMOSFETはCOガスを検知できることが分かった。また、MOSFET型ガスセンサの動作からCOガス吸着特性について調べた。その結果、酸素の被覆率とCOガス分圧との関係からラングミュア型の吸着をしている事がわかった。
- 2000-08-17
著者
-
福田 永
室蘭工業大学工学部
-
野村 滋
室蘭工業大学工学部電子電子工学科
-
野村 滋
室蘭工業大学
-
上西 龍二
室蘭工業大学工学部電気電子工学科
-
福田 永
室蘭工業大学
-
福田 永
室蘭工業大・創成機能工学
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