ゲート絶縁膜の信頼性に影響する要因 : 酸化膜の酸窒化から見た信頼性

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概要

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• 1997-12-04

著者

• 福田 永

  室蘭工業大学

• 福田 永

  室蘭工業大・創成機能工学

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