Al添加ZnOスパッタ膜の構造と導電性に及ぼす基板温度の影響
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概要
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- 2000-09-07
著者
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下野 功
北海道立工業技術センター
-
菅原 智明
北海道立工業技術センター
-
辻野 二朗
北海道電力(株)総合研究所
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辻野 二朗
北海道電力(株)
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辻野 二朗
北海道電力
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下野 功
道立工業技術センター
-
田谷 嘉浩
道立工業技術センター
-
菅原 智明
道立工業技術センター
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