SiC薄膜生成におけるHMDS+H_2プラズマについて
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概要
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- 1999-10-19
著者
-
田頭 博昭
室蘭工業大学 工学部
-
田頭 博昭
室蘭工業大学
-
吉野 正樹
北海道職業能力開発大学校
-
下妻 光夫
北海道大学医療技術短期大学部
-
吉野 正樹
北海道職能開発短大
-
伊達 広行
北大
-
下妻 光夫
北大医療短大
-
伊達 広行
北大医療短大
-
吉野 正樹
道職能開発短大
-
伊達 広行
北大 医
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