X線CTR散乱と干渉によるヘテロ界面構造の評価

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概要

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• 放射光を用いた強力なX線と超高感度の2次元検出器であるイメージング・プレートにより、CTR(Crystal Truncation Rod)を広い範囲にわたって測定することができる。主として結晶表面の凹凸を原子レベルで測定するために用いられていたX線CTR散乱を、ヘテロ界面の構造(界面位置、組成分布、結晶構造等)の解析に用いることが出来ることを示し、更に、1原子層レベルでそれらを明らかにできる強力な手法であることを実例を以って示す。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1997-05-23

著者

• 竹田 美和

  名古屋大学工学研究科結晶材料工学専攻

• 竹田 美和

  名古屋大学

• 田渕 雅夫

  名古屋大学工学部材料機能工学科

• 田淵 雅夫

  名大工

• 藤田 敬次

  名古屋大学工学部材料機能工学科

• 一木 悟史

  名古屋大学工学部材料機能工学科

• 藤田 敬次

  名古屋大学大学院工学研究科材料機能工学専攻

• 一木 悟史

  名古屋大学大学院工学研究科材料機能工学専攻

• 田渕 雅夫

  名古屋大学

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