電子サイクロトロン共鳴スパッタリングシステムにより作成したニオブとアルミ薄膜の特性
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概要
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超伝導X線検出器に用いられる超伝導トンネル接合には、リーク電流が極めて小さい高品質特性が求められる。このリーク電流の低減を目指して、電子サイクロトロン共鳴(ECR)スパッタリングシステムを用いてNd/Alの2層膜を作製した。RHEEDとAFMを用いて薄膜表面の解析を行い、Nb薄膜表面の平坦性が従来のスパッタ膜に比べて4〜5倍改善され、その上に形成されたアルミ薄膜は優れたカバレージ特性を示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-11-16
著者
-
仲川 博
独立行政法人産業技術総合研究所
-
仲川 博
電子技術総合研究所
-
赤穂 博司
電子技術総合研究所
-
赤穂 博司
産総研・強相関電子技術セ
-
高田 進
埼玉大学大学院理工学研究科
-
高田 進
埼玉大学工学部
-
Esposito A
Electrotechnical Laboratory
-
Esposito Antonio
電子技術総合研究所
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